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炬光科技為ASML核心供應(yīng)商提供核心激光光學(xué)元器件

2022-01-11 來(lái)源:中電網(wǎng)
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關(guān)鍵詞: 炬光科技ASML

近日炬光科技在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示,公司為荷蘭ASML核心供應(yīng)商A公司提供光刻機(jī)用光場(chǎng)勻化器和半導(dǎo)體晶圓退火核心元器件。公司多年來(lái)一直為半導(dǎo)體光刻應(yīng)用領(lǐng)域提供光刻機(jī)曝光系統(tǒng)中的核心激光光學(xué)元器件光場(chǎng)勻化器,供應(yīng)給世界頂級(jí)光學(xué)企業(yè)A公司,最終應(yīng)用于全球高端光刻機(jī)生產(chǎn)商的核心設(shè)備。



根據(jù)官網(wǎng)資料顯示,炬光科技成立于2007年,該公司主要從事激光行業(yè)上游的高功率半導(dǎo)體激光元器件、激光光學(xué)元器件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。擁有經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì),現(xiàn)已形成共晶鍵合技術(shù)、熱管理技術(shù)、熱應(yīng)力控制技術(shù)、界面材料與表面工程、測(cè)試分析診斷技術(shù)、線光斑整形技術(shù)、光束轉(zhuǎn)換技術(shù)、光場(chǎng)勻化技術(shù)(光刻機(jī)用)和晶圓級(jí)同步結(jié)構(gòu)化激光光學(xué)制造技術(shù)九大類核心技術(shù),產(chǎn)品逐步被應(yīng)用于先進(jìn)制造、醫(yī)療健康、科學(xué)研究、汽車應(yīng)用、消費(fèi)電子五大領(lǐng)域。炬光科技擁有國(guó)家地方聯(lián)合工程研究中心、博士后科研工作站,獲得國(guó)家技術(shù)創(chuàng)新示范企業(yè)等科研榮譽(yù)。2020年,炬光科技成功進(jìn)入臺(tái)積電供應(yīng)鏈。


據(jù)了解,炬光科技的光場(chǎng)勻化器應(yīng)用于國(guó)內(nèi)主要光刻機(jī)研發(fā)項(xiàng)目和樣機(jī)中,并供應(yīng)給世界頂級(jí)光學(xué)企業(yè)A公司,最終應(yīng)用于ASML的光刻機(jī)中。而目前德國(guó)蔡司是ASML光刻機(jī)最重要的光學(xué)零部件供應(yīng)商,因此,德國(guó)蔡司很有可能就是炬光科技前面提到的A公司。根據(jù)招股書(shū)顯示,炬光科技的光場(chǎng)勻化器單價(jià)在20萬(wàn)元左右,2021年上半年用于光刻和其他應(yīng)用的毛利率分別為67.3%和76.85%,是所有產(chǎn)品中毛利率最高的。


而炬光科技光場(chǎng)勻化器技術(shù)似乎主要源于2017年5月對(duì)于德國(guó)LIMO公司的收購(gòu)。資料顯示,LIMO成立于1992年,位于德國(guó)多特蒙德,為各種類型的激光器提供折射微光學(xué)和光學(xué)整形系統(tǒng)。2018年UV-L750線光斑系統(tǒng)獲得了國(guó)際光學(xué)工程學(xué)會(huì)(SPIE)頒發(fā)的全球光電行業(yè)最高榮譽(yù)之一Prism Awards棱鏡獎(jiǎng)。


截至2021年6月30日,公司在中國(guó)境內(nèi)依法取得專利證書(shū)的專利共計(jì)295項(xiàng),其中發(fā)明專利117項(xiàng)、實(shí)用新型專利150項(xiàng)、外觀設(shè)計(jì)專利28項(xiàng),在中國(guó)境外依法取得專利證書(shū)的專利共計(jì)110項(xiàng)。公司科技成果分別獲得陜西省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)、西安市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng),2019年被國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予“國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)示范企業(yè)”。