ASML柏林工廠突發(fā)火災(zāi)
2022-01-04
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1月4日消息，ASML當(dāng)?shù)貢r(shí)間3日宣布，其位于德國(guó)柏林的工廠于2日晚間發(fā)生火災(zāi)，大火在夜間被撲滅，無(wú)人受傷，目前就損害或是否會(huì)影響其生產(chǎn)計(jì)劃發(fā)表聲明還為時(shí)過(guò)早，公司計(jì)劃花幾天時(shí)間進(jìn)行調(diào)查并做出全面評(píng)估。
據(jù)悉，ASML柏林工廠為ASML的光刻系統(tǒng)生產(chǎn)組件，包括晶圓工作臺(tái)和夾具，十字線卡盤(pán)和鏡像塊。
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