12月27日消息，萬(wàn)業(yè)企業(yè)公司旗下凱世通的高能離子注入機(jī)設(shè)備已順利通過(guò)驗(yàn)證并完成驗(yàn)收，這是國(guó)產(chǎn)高能離子注入機(jī)首次通過(guò)晶圓廠驗(yàn)證。

集成電路離子注入機(jī)主要廠商有應(yīng)用材料和Axcelis，中國(guó)芯片廠使用的離子注入機(jī)幾乎全部依賴海外。萬(wàn)業(yè)企業(yè)現(xiàn)完成了國(guó)內(nèi)首臺(tái)高能離子注入機(jī)的驗(yàn)證，關(guān)鍵設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程再取得重大突破。

據(jù)資料顯示，萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下控股子公司凱世通是一家以離子束技術(shù)為核心的集科研、制造于一體的高科技企業(yè)，主要研制、生產(chǎn)、再制造和銷售高端離子注入機(jī)。離子注入機(jī)與光刻機(jī)、刻蝕機(jī)和鍍膜機(jī)并稱四大核心裝備，重點(diǎn)應(yīng)用于集成電路與IGBT制造領(lǐng)域、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)領(lǐng)域、AMOLED面板制造等。