據(jù)EETOP從業(yè)內(nèi)消息人士獲悉，中芯集成電路（寧波）有限公司（以下簡稱“中芯寧波”）的自主體聲波諧振器工藝技術(shù)平臺SASFR ，已支持多家設(shè)計公司實現(xiàn)射頻前端中高頻體聲波濾波器（BAW）量產(chǎn)，客戶產(chǎn)品性能已達(dá)到國內(nèi)最優(yōu)、業(yè)界先進(jìn)水平，可開始向高端手機(jī)供貨，在中國大陸?yīng)殬湟粠?，也在長期被國外廠商壟斷的中高端體聲波濾波器領(lǐng)域，實現(xiàn)了具有全自主知識產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)和規(guī)模制造突圍。

SASFR（SuspendedAcoustic Separated Film Resonator，也稱“懸浮聲學(xué)隔離薄膜諧振器”）是中芯寧波全自主開發(fā)并擁有全套自主知識產(chǎn)權(quán)的一種懸臂式薄膜體聲波諧振器工藝與器件技術(shù)，包含集成空腔的諧振器前道晶圓工藝平臺以及后道晶圓級芯片封裝與測試配套技術(shù)。與業(yè)界沿用多年的傳統(tǒng)技術(shù)路線大相徑庭，SASFR 平臺在薄膜工藝構(gòu)架和諧振器件設(shè)計上，實現(xiàn)了真正意義上的自主創(chuàng)新突破，且其諧振器關(guān)鍵性能指標(biāo)可與國際競品比肩，個別性能甚至高于國際水平。

這一自主體聲波濾波器晶圓工藝平臺，其核心諧振微器件能夠?qū)崿F(xiàn)射頻信號的高性能篩選、降噪、濾波或諧振等多重功能。基于這一平臺設(shè)計的0.8至6.0 GHz射頻濾波器產(chǎn)品，具有低插損、高隔離度、微型化、高功率、體積小等諸多優(yōu)點，應(yīng)用范圍廣泛，所支持產(chǎn)品設(shè)計和開發(fā)靈活性強(qiáng)，基本覆蓋了5G通信所有領(lǐng)域，如手機(jī)、無線通信基站、智能電表，以及智能家電信息交互等應(yīng)用場景。

SASFR 工藝技術(shù)和規(guī)模制造平臺是中芯寧波的核心產(chǎn)品線之一。2019年啟動產(chǎn)品線研發(fā)后，中芯寧波只用不到兩年的時間，就通過了多家客戶的產(chǎn)品認(rèn)證并實現(xiàn)量產(chǎn)。

據(jù)芯智訊了解，去年4月底，國產(chǎn)EDA軟件、集成無源器件IPD和系統(tǒng)級封裝領(lǐng)域的領(lǐng)先供應(yīng)商芯和半導(dǎo)體就曾宣布，基于中芯寧波自主開發(fā)的高性能體聲波諧振器技術(shù)以及全套晶圓級加工與封裝工藝技術(shù)，芯和半導(dǎo)體的首款自主設(shè)計和開發(fā)的高頻段體聲波濾波器產(chǎn)品正式發(fā)布，并已向本土無線終端客戶送樣，進(jìn)入系統(tǒng)客戶的驗證和測試階段，并于2020年第三季度進(jìn)入批量生產(chǎn)和供貨。

另據(jù)新聲公司負(fù)責(zé)人表示，選擇中芯寧波作為戰(zhàn)略合作伙伴的最重要原因是，SASFR 工藝平臺是中芯寧波CEO黃河博士親自率領(lǐng)團(tuán)隊從零開始全自主開發(fā)，知識產(chǎn)權(quán)完全自主可控。啟動客戶推廣與產(chǎn)品合作以來，新聲在中芯寧波代工的體聲波濾波器良率和可靠性快速提升。中芯寧波用兩年的時間走過了國外IDM十年的發(fā)展道路。

據(jù)了解，此前中芯寧波相關(guān)業(yè)務(wù)負(fù)責(zé)人曾表示，公司CEO黃河博士是SASFR 的核心發(fā)明人。公司研發(fā)和晶圓廠運(yùn)營團(tuán)隊在黃河博士的領(lǐng)導(dǎo)下從零起步，排除各種質(zhì)疑，戰(zhàn)勝無數(shù)艱難險阻，純粹憑借團(tuán)隊自身的力量，堅定地走全自主工藝技術(shù)開發(fā)道路，短時間內(nèi)完成了全套晶圓制造工藝、晶圓級封裝和測試的開發(fā)、設(shè)置和驗證并進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化，創(chuàng)造了奇跡。

業(yè)內(nèi)專家評價說，中芯寧波SASFR 制造平臺的成功充分說明，憑借自主創(chuàng)新的堅定決心、團(tuán)結(jié)實干的優(yōu)秀隊伍和互信共贏的市場合作，完全有可能在一些國外壟斷的領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)知識產(chǎn)權(quán)安全的產(chǎn)業(yè)化突破。

隨著5G商用的啟動，國內(nèi)濾波器出貨量呈現(xiàn)爆發(fā)式增長態(tài)勢。業(yè)內(nèi)分析機(jī)構(gòu)預(yù)測，2022年全球濾波器市場規(guī)模將達(dá)到160億美元，其中體聲波濾波器占比約47%，市場規(guī)模約75億美元。目前，國內(nèi)中高頻體聲波濾波器市場仍然主要被Broadcom和Qorvo等國外廠商所壟斷。