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氣體污染原因揭曉 臺積電晶圓18廠影響如何?

2021-08-10 來源:經(jīng)濟(jì)日報
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關(guān)鍵詞: 氣體污染 臺積電 晶圓

臺積電位于南科的晶圓18廠上個月底驚傳遭到氣體污染,外界一度憂心是否會影響蘋果iPhone年度新機(jī)的出貨進(jìn)度。不過,目前看來,氣體污染事件的影響極其輕微,主要是因為這個化學(xué)反應(yīng)的關(guān)系。


臺積電位于南科的晶圓18廠上周傳出疑因氧氣供應(yīng)受到污染,導(dǎo)致部分產(chǎn)線停擺。由于晶圓18廠是臺積電最先進(jìn)的5納米制程生產(chǎn)基地,大客戶正是美商蘋果,而8月又將進(jìn)入iPhone處理器A15的生產(chǎn)旺季,引起市場高度關(guān)注后續(xù)影響。


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當(dāng)時,臺積電就針對氣體污染事件表示,已實(shí)時調(diào)度其他氣體供應(yīng)。為確保生產(chǎn)質(zhì)量無虞,正進(jìn)行嚴(yán)密后續(xù)作業(yè);這事件目前已知對營運(yùn)并無造成顯著影響,后續(xù)將持續(xù)追蹤。目前看來,該事件確實(shí)影響極其輕微。


據(jù)了解,當(dāng)時晶圓18廠被污染,主要是因為半導(dǎo)體制程必備的氧氣,被混入了氬氣(Ar2)。氬氣是一種無色無味的惰性氣體,一般無害,但在高濃度下,會使人窒息。


這次晶圓18廠的氧氣雖然遭到氬氣污染,但因為氬氣并不參與化學(xué)反應(yīng),所以對生產(chǎn)過程沒有影響,工廠端只需要清洗儲存槽即可。


法人認(rèn)為,這起氣體污染事件,將不影響臺積電8月營收表現(xiàn),也不會干擾蘋果iPhone新機(jī)用的處理器A15生產(chǎn)。


氬氣常用于半導(dǎo)體、太陽能、顯示器和LED制造商,最常見的用途是為大型硅晶體的生長或大型整塊硅晶鑄塊的生產(chǎn),提供一種惰性環(huán)境;晶體或晶塊經(jīng)切割后制成太陽能和半導(dǎo)體行業(yè)所使用的硅片。


而太陽能芯片生產(chǎn)是氬氣消耗量最大的應(yīng)用。氬氣還可用于吹掃電子工藝設(shè)備,以免較高溫度條件下發(fā)生有害化學(xué)反應(yīng)。