近日，聚焦SiC產(chǎn)業(yè)鏈的三家大廠意法半導(dǎo)體、三菱電機(jī)、英飛凌傳來最新消息。意法半導(dǎo)體方面，其將在意大利卡塔尼亞建設(shè)世界首個全流程垂直集成的碳化硅（SiC）工廠；三菱電機(jī)方面，該公司位于熊本縣正在建設(shè)的SiC晶圓廠將提前5個月開始運(yùn)營；英飛凌方面，則已獲得其位于德國德累斯頓的價值50億歐元的智能功率半導(dǎo)體工廠的最終建設(shè)許可，該工廠將按計(jì)劃于2026年開始生產(chǎn)。

碳化硅具備耐高壓、耐高溫、高頻率、抗輻射等優(yōu)良電氣特性，突破了硅基半導(dǎo)體材料的物理極限，是第三代半導(dǎo)體的核心材料之一，主要應(yīng)用領(lǐng)域包括射頻器件、新能源汽車、光伏發(fā)電、數(shù)據(jù)中心、智能電網(wǎng)、軌道交通等。其中新能源汽車和數(shù)據(jù)中心的應(yīng)用需求上漲明顯。

新能源汽車方面碳化硅的上車已成為大勢所向，在2024年的意法半導(dǎo)體高層表示，在北京國際汽車展覽會中，配備碳化硅的車型超70款。中國科學(xué)院院士郝躍表示，近些年車規(guī)級器件的標(biāo)配是6英寸碳化硅襯底和800伏MOS器件。意法半導(dǎo)體高層則表示，現(xiàn)在的新車，只要能用碳化硅的地方，便不會再用傳統(tǒng)功率器件。


高壓平臺提升零件技術(shù)要求，碳化硅功率器件脫穎而出

高壓平臺將給整車零部件系統(tǒng)帶來等多種高難度要求，例如更高絕緣工作電壓等級的承受能力、更低水平的導(dǎo)通損耗等等。因此，電驅(qū)系統(tǒng)、車載電源等作為零件系統(tǒng)中的重要部分，需要相應(yīng)升級以滿足上述要求；而功率器件作為重要組成部分，對于電驅(qū)系統(tǒng)、車載電源等部件的升級具有重要影響。

目前，大多數(shù)功率模塊采用硅基IGBT技術(shù)。但硅基IGBT的功率密度正接近極限，同時隨著整車平臺電壓的提高，硅基IGBT的開關(guān)損耗將會加大。在此背景下，碳化硅（SiC）功率器件的應(yīng)用逐步擴(kuò)大。相較硅基IGBT，碳化硅器件具備多方面優(yōu)勢，尤其在電控逆變器、OBC和DC-DC轉(zhuǎn)換器等應(yīng)用中優(yōu)勢明顯。

高壓平臺將會對器件的耐壓等級、導(dǎo)通損耗高低、開關(guān)損耗高低等性能提出更高要求，而碳化硅較硅具備多重性能優(yōu)勢，更能夠滿足高壓平臺的需求。

1）碳化硅的禁帶比硅大3倍，擊穿電場高10倍，較高的擊穿電場使得碳化硅器件具有更薄的漂移層或更高的摻雜濃度，進(jìn)而具有更低的導(dǎo)通損耗；

2）此外，硅基IGBT因?yàn)槠鋼舸╇妷和ǔ?50-750V間，選取的拓?fù)洳煌耆嗤欢捎诟邠舸╇妷?，在高壓?yīng)用中使用碳化硅MOSFET可以采用簡化的拓?fù)?，簡化的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)可以使得組件以及控制算法的設(shè)計(jì)工作量更少；

3）碳化硅可用于設(shè)計(jì)如高壓MOSFET等的單極器件，理論上不產(chǎn)生尾電流，而碳化硅MOSFET相比于硅基IGBT擁有更低的開關(guān)損耗；

此外，碳化硅器件的芯片面積更小，能夠產(chǎn)生更小的柵極電荷和電容，從而能夠?qū)崿F(xiàn)更高的開關(guān)速度和更低的開關(guān)損耗。


SiC功率器件成熱門，吸引雙雄押下重注

根據(jù)Yole的預(yù)測，SiC功率器件將很快占據(jù)整個功率器件市場的30%，到2027年，SiC行業(yè)（從襯底到模塊，包括器件）的產(chǎn)值有望超過60億美元。

SiC器件的工作結(jié)溫在200℃以上，工作頻率在100kHz以上，耐壓可達(dá)20kV，這些性能都優(yōu)于傳統(tǒng)硅器件；碳化硅器件體積可減小到IGBT整機(jī)的1/3-1/5，重量可減小到40-60%。

隨著新能源汽車的發(fā)展，對功率器件需求量日益增加，成為功率半導(dǎo)體器件新的增長點(diǎn)。截至2023年上半年，全球已有40款SiC車型進(jìn)入量產(chǎn)交付，可查到交付數(shù)據(jù)的SiC車型上半年累計(jì)銷售118.7萬輛。

熱門的SiC便吸引了歐洲芯片雙雄意法和英飛凌在其中押下重注。

這些SiC巨頭通過收購、合并等方式不斷擴(kuò)大自身規(guī)模，實(shí)現(xiàn)了SiC全產(chǎn)業(yè)鏈的布局，并在全球范圍內(nèi)掌握了SiC技術(shù)的核心競爭力。Yole估計(jì)，將有數(shù)十億美元投資于晶體和晶圓制造以及設(shè)備加工，到2027年市場潛力將達(dá)到60億美元，高于2021年的約10億美元。

高質(zhì)量國產(chǎn)替代，才是本土SiC器件的出路

雖然市場產(chǎn)銷兩旺，但是我國碳化硅功率器件仍處于早期階段，在技術(shù)成熟度、穩(wěn)定量產(chǎn)能力、產(chǎn)業(yè)鏈配套等方面與海外還存在較大差距，尤其是電動汽車主驅(qū)用碳化硅功率器件，現(xiàn)階段完全依賴進(jìn)口。

究其背后原因，高巍博士分析到，“一是新能源汽車應(yīng)用涉及生命財產(chǎn)安全，對SiC器件的可靠性、工藝等方面都有著高要求；第二點(diǎn)是新能源汽車對功率器件要求的壽命是15至20年，技術(shù)門檻高；第三點(diǎn)是對器件質(zhì)量要求很高，器件ppm級的低失效率保障；第四點(diǎn)，則是和公司的可靠性要求有關(guān)，高質(zhì)量、長時間、穩(wěn)定供給的器件設(shè)計(jì)公司，是獲得車廠信任的保證?！?/span>

而針對車載應(yīng)用的高可靠性要求，SiC功率器件目前面臨著一系列挑戰(zhàn)：一是良率保證和設(shè)計(jì)工藝保證，這是基礎(chǔ)；第二點(diǎn)是所有器件必須滿足AEC-Q101基本保障；第三點(diǎn)是器件廠商的質(zhì)量管理體系保證；最后是供應(yīng)鏈體系的保證，只有具備穩(wěn)定的供應(yīng)鏈保證，車廠才會選擇合作。

針對上述挑戰(zhàn)，高巍博士從蓉矽半導(dǎo)體出發(fā)，分享了蓉矽半導(dǎo)體在良率保證、設(shè)計(jì)工藝保證等角度的舉措，闡述如何解決功率器件的高可靠性問題。

第一，高良率是高可靠性的保證。“一個產(chǎn)品要做到高良率，離不開設(shè)計(jì)、材料、工藝這三要素?！备呶〔┦勘硎?，“設(shè)計(jì)方面，蓉矽半導(dǎo)體從設(shè)計(jì)階段就引入了DFR的觀念，設(shè)計(jì)之初就考慮到產(chǎn)品的可靠性，并把可靠性觀念貫穿產(chǎn)品的整個生命周期；材料方面，高品質(zhì)、低缺陷材料的選擇是良率的保障；工藝方面，作為設(shè)計(jì)公司，由于沒有自己的Fab，需要將所有工藝委外于Foundry，因此選擇具備成熟平臺和穩(wěn)定工程管控的Foundry，是高良率的重要保證?！?/span>

第二，柵氧的高可靠性保證。高巍博士從高頻開關(guān)下的柵壓過沖問題、柵氧化層失效機(jī)理等角度進(jìn)行了說明。相對于傳統(tǒng)硅器件，碳化硅MOSFET結(jié)構(gòu)更加脆弱，其偶發(fā)失效率遠(yuǎn)高于同規(guī)格的硅基MOSFET，而柵氧是導(dǎo)致碳化硅失效一個特別重要也特別常見的失效現(xiàn)象，主要失效類型包括低勢壘導(dǎo)致的隧穿加劇、陷阱造成的TAT的加劇以及工藝制程中帶來的外部缺陷。

因此，SiC MOSFET的柵氧可靠性問題成為了制約其快速發(fā)展的因素之一，器件柵氧介質(zhì)可靠性提升也是碳化硅功率MOSFET器件實(shí)現(xiàn)新能源汽車應(yīng)用面臨的重要瓶頸。

為發(fā)展我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控，國家宏觀到微觀層面先后出臺了大量支持政策與規(guī)劃，促進(jìn)國內(nèi)企業(yè)在半導(dǎo)體設(shè)備、材料、設(shè)計(jì)等各個細(xì)分領(lǐng)域的重點(diǎn)突破。同時，數(shù)千億規(guī)模的國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金對半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)與設(shè)計(jì)、下游應(yīng)用領(lǐng)域的重點(diǎn)企業(yè)提供了有力的資金支持。目前我國完善的基建配套、巨大的工程技術(shù)人員規(guī)模和市場容量已經(jīng)培育出了在細(xì)分領(lǐng)域具有國際競爭力的半導(dǎo)體產(chǎn)品制造企業(yè)。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是資金密集、技術(shù)密集和人才密集的產(chǎn)業(yè)，國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)在政策引導(dǎo)、資金支持下，產(chǎn)能規(guī)模和制造技術(shù)均能保持穩(wěn)定發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代的趨勢不可逆轉(zhuǎn)。