據(jù)韓國媒體 BusinessKorea 報導(dǎo)，韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部于 5 月 13 日對外宣布，全球光刻機龍頭大廠阿斯麥（ASML）計劃未來4年將在韓國建設(shè)光刻設(shè)備再制造工廠及培訓(xùn)中心，預(yù)計在 2025 年建設(shè)完成。

此次ASML計劃在韓國新建的EUV再制廠，主要用途就是為韓國當(dāng)?shù)剡\行的EUV光刻機維護、升級提供助力，將耗資2,400億韓元（2.1億美元）。所謂再制造，是指通過必要的拆卸、檢修和零部件更換等，將廢舊產(chǎn)品恢復(fù)如新的過程。
 
ASML是全球唯一一家能夠生產(chǎn)EUV光刻機的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商。但是ASML的EUV光刻機產(chǎn)能十分有限，一年只能生產(chǎn)30臺左右EUV光刻機。
 
據(jù)了解，目前臺積電已取得了50臺EUV設(shè)備，而三星僅有10臺。
 
此前韓國政府發(fā)布半導(dǎo)體強國建設(shè)戰(zhàn)略規(guī)劃，將對半導(dǎo)體研發(fā)和設(shè)備投資的稅收減免最高將分別提至40～50%和10～20%，并且還擬斥資約 4500 億美元建設(shè)全球最大的芯片制造基地，為芯片制造業(yè)企業(yè)減免稅負、提供國家補貼。此次阿斯麥赴韓國建廠，對加快韓國半導(dǎo)體建設(shè)。