光刻機(jī)是當(dāng)前所有芯片制造設(shè)備中,最為關(guān)鍵的一環(huán),且是中國(guó)自有芯片產(chǎn)業(yè)鏈中,最為薄弱的一環(huán),畢竟我們國(guó)產(chǎn)的光刻機(jī),僅實(shí)現(xiàn)了90nm工藝。
所以一直以來(lái),我們都需要大量的從荷蘭、日本進(jìn)口光刻機(jī),因?yàn)槿虺酥袊?guó)上海微電子之外,也只有荷蘭的ASML、日本的佳能、尼康能夠制造芯片產(chǎn)業(yè)的前道光刻機(jī)。
數(shù)據(jù)顯示,2023年這一年,從ASML進(jìn)口的光刻機(jī),就超過(guò)了600億元,是2022年三倍多,數(shù)量超過(guò)200臺(tái)……
不過(guò)大家也都清楚,2024年一開始,光刻機(jī)進(jìn)口就變的困難了,首先先進(jìn)一點(diǎn)的浸潤(rùn)式光刻機(jī),是無(wú)法進(jìn)口了,美國(guó)、日本、荷蘭的禁令全面執(zhí)行了,許可證也被取消了。
在這樣的情況之下,像ASML、尼康、佳能等,想賣光刻機(jī)給我們,就必須要符合禁令要求,工藝不能太先進(jìn)。
在這樣的情況之下,這些光刻機(jī)廠商們?cè)趺崔k?畢竟中國(guó)市場(chǎng)這么大,可不能放棄了,必須得想辦法,賣點(diǎn)貨才行啊。
近日,尼康執(zhí)行副總就表示稱,他們已經(jīng)收到了中國(guó)客戶的強(qiáng)烈要求,想要從尼康購(gòu)買光刻機(jī)。為此,尼康也決定,在“遵守規(guī)則的同時(shí)擴(kuò)大業(yè)務(wù)”。
何為遵守規(guī)則,又?jǐn)U大業(yè)務(wù)?那就是推出新的光刻機(jī),滿足禁令的同時(shí),又將光刻機(jī)的性能、參數(shù)進(jìn)行提升,滿足中國(guó)客戶的需求。
按照佳能的說(shuō)法,要在今年夏季,推出一款新的I-line光刻機(jī),并且這是佳能25年以來(lái),推出的第一款I(lǐng)-line光刻機(jī)。
I-line光刻機(jī),從理論上來(lái)說(shuō),實(shí)際上是相當(dāng)成熟的光刻機(jī)了,30年前就有了,主要用于制造250nm以上邏輯制程,用于8寸晶圓,也是最早幾代的光刻機(jī)。
這樣的光刻機(jī),中國(guó)自己其實(shí)也能夠制造出來(lái)的,我們自己都早實(shí)現(xiàn)了90nm,所以我們真的需要從日本買這僅用于制造250nm芯片的光刻機(jī)么?
很多人猜測(cè),尼康制造的新I-line光刻機(jī),肯定不是只制造250nm芯片,這樣的光刻機(jī),我們要之無(wú)用,說(shuō)不定有其它一些新功能,那么具體會(huì)是什么情況,就讓我們拭目以待了,夏季見分曉。