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ASML的“末日狂歡”:EUV光刻機(jī),難有下一代,未來(lái)沒(méi)了

2024-02-22 來(lái)源:科技專家
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關(guān)鍵詞: ASML 芯片

2023年,是ASML狂歡的一年,這一年賣出了276億歐元的光刻機(jī),同比增長(zhǎng)30%,而凈利潤(rùn)為78億歐元,同比增長(zhǎng)43%,毛利率高達(dá)51.3%。


2023年這一年,ASML賣出了53臺(tái)EUV光刻機(jī),125臺(tái)浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī),32臺(tái)普通干式DUV光刻機(jī),184臺(tái)KrF光刻機(jī),55臺(tái)L-line光刻機(jī),所有類型的光刻機(jī),都比2022年銷量多。


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而對(duì)于2024年,ASML不樂(lè)觀表示預(yù)計(jì)和2023年差不多。


事實(shí)上,2024年,理應(yīng)是ASML大量發(fā)展的一年,為何預(yù)計(jì)卻不會(huì)再有什么增長(zhǎng)呢?原因在于ASML的EUV光刻機(jī),已經(jīng)發(fā)展到極限,難有下一代了,前路已經(jīng)被堵了。


目前ASML最大的營(yíng)收來(lái)源,其實(shí)是靠EUV光刻機(jī),2023年為例,53臺(tái)EUV光刻機(jī),每臺(tái)1.8億美元左右,這里就貢獻(xiàn)了近100億美元,三分之一啊。


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現(xiàn)在主要銷售的EUV光刻機(jī),是NA=0.33的光刻機(jī),NA也稱之為數(shù)值孔徑,也稱之為L(zhǎng)ow-NA系統(tǒng),因?yàn)?.33是低數(shù)值孔徑。


這種光刻機(jī),能實(shí)現(xiàn)26nm的最小金屬間距和25-30nm尖端到尖端的近似互連空間間距,比較理想的,是實(shí)現(xiàn)3nm的芯片制造。


而NA=0.55的光刻機(jī),數(shù)值孔徑變大了,稱之為Higt-Na系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)16nm的最小金屬間距,可實(shí)現(xiàn)2nm以下制程節(jié)點(diǎn),甚至達(dá)到1nm。


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不過(guò)這種NA=0.55的光刻機(jī),成本高昂,達(dá)到了3.8億美元去了,相比上一代貴了一倍,同時(shí)ASML表示,目前產(chǎn)能還很差,一年也就只能生產(chǎn)不到10個(gè)出來(lái),所以ASML并不是特別看好它,畢竟目前的0.33NA的光刻機(jī),也能生產(chǎn)2nm芯片。


而制造3nm的芯片廠,才2家,大家原有的EUV光刻機(jī)不會(huì)淘汰掉,現(xiàn)在NA=0.55的光刻機(jī),肯定銷量不會(huì)特別好,所以對(duì)2024年并不是很樂(lè)觀,覺(jué)得能夠維持住2023年的營(yíng)收,就不錯(cuò)了。


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事實(shí)上,對(duì)ASML而言,更大的麻煩,還在后頭,因?yàn)楫?dāng)NA提升至0.55后,數(shù)值孔徑,可能就達(dá)到極限,無(wú)法再提升了。


至于其它提高EUV光刻機(jī)分辨率的方向,比如降低光源波長(zhǎng),提高光刻工藝因子等,基本上都達(dá)到了極限,短時(shí)間之內(nèi)無(wú)法提升了。


所以在去年,主管技術(shù)的ASML的聯(lián)席CEO表示,接下來(lái)ASML的EUV光刻機(jī),很難再有進(jìn)步了,NA=0.55的這種EUV光刻機(jī),或許是最后一代,他于2024年也要退休了。


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那么,一旦EUV光刻機(jī),無(wú)法再更新?lián)Q代,ASML就陷入了“末日狂歡”之中了,也許眼前還能大賣,但未來(lái)呢?


當(dāng)然,也有人覺(jué)得,或許EUV光刻機(jī)還能夠前進(jìn),只是目前還沒(méi)看到方向而已,但這種看不到方向,是企業(yè)的最大不確定性,沒(méi)有確定性就沒(méi)有未來(lái),企業(yè)怎么辦呢?