眾所周知，以前美國是不準(zhǔn)EUV光刻機(jī)賣到中國來，其它的光刻機(jī)不受限。

后來在去年10月份，將光刻機(jī)禁令升級(jí)了，規(guī)定光刻機(jī)如果采用193nm波長的光源，且分辨率小于45nm時(shí)，其光刻機(jī)套刻精度的DCO值小于1.5nm時(shí)， 不準(zhǔn)出口。

按照這個(gè)規(guī)定，ASML的浸潤式光刻機(jī)中，還有NXT:1980Di可以出口，因?yàn)樗腄CO值是1.6nm。

而在8月份，華為Mate60 手機(jī)橫空出世，搭載了麒麟9000S芯片，這顆芯片采用的是等效于7nm的工藝，很多人認(rèn)為，這是浸潤式光刻機(jī)經(jīng)過多重曝光生產(chǎn)出來的。

于是在今年10月17日，美國升級(jí)光刻機(jī)禁令，規(guī)定193nm波長的光源，分辨率小于45nm時(shí)，其DCO值小于2.4nm，就不能出口，相當(dāng)于將唯一的一臺(tái)浸潤式光刻機(jī)，也堵住了。

這對(duì)于ASML而言，肯定是大事，畢竟中國大陸的市場，是ASML無法放棄的市場。2022年，中國從ASML買了大約100臺(tái)光刻機(jī)，價(jià)值高達(dá)200多億。

而2023年前三個(gè)季度，ASML就向中國賣了53億歐元的光刻機(jī)，價(jià)值400多億，是去年全年的2倍多，第三季度的時(shí)候，中國大陸貢獻(xiàn)了ASML營收的46%。

這樣的市場，ASML怎么舍得？再說了，ASML擔(dān)心一旦它的光刻機(jī)不賣到中國市場，中國會(huì)自己研發(fā)出來，那么就沒ASML什么事了。

所以近日有消息稱，ASML看到NVIDIA刀法如神，每次都能按照美國的禁令，進(jìn)行精準(zhǔn)閹割，推出不違反禁令，又能賣到中國大陸市場的GPU芯片之后，有了誰啟發(fā)，決定對(duì)其光刻機(jī)也進(jìn)行閹割。

按照禁令，浸潤式光刻機(jī)，采用193nm波長的光源，分辨率小于45nm，但只要DCO值大于2.4nm即可銷量，小于2.4nm就不能銷售。

所以ASML計(jì)劃將現(xiàn)有的浸潤式光刻機(jī)進(jìn)行調(diào)整，光源不變，分辨率不變依然保持38nm，但DCO值調(diào)整，讓其變成2.4nm以上，這樣就可以出口了。

而DCO值調(diào)整之后，對(duì)芯片制造的分辨率有一定的影響，比如生產(chǎn)先進(jìn)芯片時(shí)，有可能會(huì)影響到良率，效率等，但至少已經(jīng)不受限制了。

浸潤式光刻機(jī)，與非浸潤式光刻機(jī)相比，就算DCO值變成2.4nm+了，工藝也會(huì)先進(jìn)很多，目前中國大陸無法生產(chǎn)出浸潤式光刻機(jī)，上海微電子的工藝還在90nm，這樣閹割的浸潤式光刻機(jī)，依然大有市場。

當(dāng)然，以上只是傳聞，會(huì)不會(huì)如此，還不清楚，但參照Nvidia迅速推出中國特供版本GPU芯片來看，ASML這么干，也非常有可能，你覺得呢？

這樣的光刻機(jī)，我們買不買？不黑不吹，在自己沒有浸潤式光刻機(jī)之前，只能買，畢竟它還是比普通干式光刻機(jī)強(qiáng)很多的，所以關(guān)鍵還是國產(chǎn)光刻機(jī)突破。