說(shuō)一個(gè)事實(shí):就算我們買到EUV光刻機(jī),也制造不了7nm芯片
關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體設(shè)備 芯片 光刻機(jī)
眾所周知,緊隨美國(guó)、日本之后,荷蘭也出臺(tái)了關(guān)于半導(dǎo)體設(shè)備/技術(shù)的禁令。
分析荷蘭的這個(gè)禁令,可以看出來(lái),與美國(guó)之前的步調(diào)基本一致的,那就是對(duì)14nm及以下工藝的設(shè)備,全部堵住。
不過(guò)在浸潤(rùn)式光刻機(jī)上,還留了一道口子,沒(méi)有全部禁止,其中NXT:1800Di這臺(tái)浸潤(rùn)式光刻機(jī),不屬于管制范圍,還是可以出口的。
而根據(jù)媒體的說(shuō)法,這臺(tái)NXT:1800Di光刻機(jī),采用的是193nm波長(zhǎng),38nm分辨率、1.35NA數(shù)值孔徑,在多次曝光之下,可以實(shí)現(xiàn)最高7nm的工藝,之前臺(tái)積電的第一代7nm工藝,就是基于這臺(tái)光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)的。
于是很多網(wǎng)友表示,這樣看來(lái),我們還是有希望馬上進(jìn)入到7nm工藝的,沒(méi)有全部堵死,這可能也是荷蘭特意留給我們的一個(gè)機(jī)會(huì)了。
不過(guò),網(wǎng)友的想法是美好的,但現(xiàn)實(shí)卻是很骨感的,對(duì)于當(dāng)前的中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)而言,要進(jìn)入7nm工藝,并不太現(xiàn)實(shí),別說(shuō)使用這臺(tái)NXT:1800Di光刻機(jī)了,就算買到EUV光刻機(jī),都制造不了7nm芯片。
采用NXT:1800Di光刻機(jī)需要多次曝光,目前多次曝光技術(shù)有三種,分別是LELE、LFLE、SADP,但不管哪一種,都對(duì)刻蝕、 沉積等工藝有非常高的技術(shù)要求,同時(shí)成本也要高2-3倍,明顯對(duì)我們并不適用。
更重要的是,芯片制造,并不僅僅看光刻機(jī)的精度,還需要其它設(shè)備、材料都達(dá)到先進(jìn)的工藝。因?yàn)樾酒瑥墓杈A到成品芯片,中間需要幾十種設(shè)備,幾百道工序。
最簡(jiǎn)單的來(lái)講,像擴(kuò)散、薄膜沉積、光刻、刻蝕、離子注入、CMP拋光、金屬化等這些設(shè)備,全部要達(dá)到7nm工藝才行,還有光刻膠、靶材等,也都要支持7nm工藝。
這些設(shè)備、材料等,我們國(guó)產(chǎn)的大多還是在28nm、14nm甚至40nm,要實(shí)現(xiàn)7nm工藝,絕大部分都需要進(jìn)口,但是目前先進(jìn)工藝的設(shè)備/技術(shù)的進(jìn)口,基本上都是被卡住的。
國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備情況
所以,不黑也不吹,靠進(jìn)口的這一臺(tái)NXT:1800Di光刻機(jī),短時(shí)間之內(nèi)是實(shí)現(xiàn)不了7nm的,甚至就算ASML放開購(gòu)買,就算我們買到了EUV光刻機(jī),不需要采用多重曝光技術(shù)來(lái)制造7nm芯片,也一樣生產(chǎn)不了7nm的芯片,因?yàn)槠渌O(shè)備、材料同樣的是被卡住的。
說(shuō)實(shí)話,國(guó)產(chǎn)芯片要突破,我們不能將希望寄托在荷蘭放開限制,讓我們買EUV光刻機(jī)身上,而是要放在國(guó)產(chǎn)供應(yīng)鏈的突破身上。
只有國(guó)產(chǎn)供應(yīng)鏈全面突破,從光刻機(jī)到各種半導(dǎo)體設(shè)備、各種半導(dǎo)體材料,全部實(shí)現(xiàn)了7nm工藝,才是真正的無(wú)后顧之憂,否則都是假象,別人一卡就死,你覺(jué)得呢?
