EUV光刻機(jī)不斷突破?不能量產(chǎn),都是紙上談兵,沒有用的
關(guān)鍵詞: 光刻機(jī) 中芯國際 臺(tái)積電
如果大家關(guān)注光刻機(jī)的消息,會(huì)發(fā)現(xiàn)網(wǎng)上各種光刻機(jī)突破,今天這家公司突破了,明天那家公司突破了,甚至是打破ASML的壟斷等等……
也許都是網(wǎng)友們?cè)谧脏?,也許是真的突破,也不排除網(wǎng)友們?cè)趤y吹牛,亂沸騰。反正按照網(wǎng)上曝光的各種消息來看,國產(chǎn)EUV光刻機(jī)似乎都量產(chǎn)了N年了,因?yàn)楦鞣N突破,都比ASML技術(shù)更厲害一樣,屬于頂尖技術(shù)。
但時(shí)至今日呢?我們對(duì)外公開的光刻機(jī)精度,依然是90nm,連浸潤式光刻機(jī)都造不出來,至于EUV光刻機(jī),那就更別說了,可能在夢里吧。
說真的,我不是要潑冷水,我只是覺得不能量產(chǎn)的各種光刻機(jī)突破,都是紙上談兵,沒有用,除了可以自嗨。
一臺(tái)光刻機(jī)的研發(fā),從提出原理,再到生產(chǎn)原型機(jī),最后到量產(chǎn),再到交付實(shí)際使用,最終實(shí)現(xiàn)高良率,這條路是非常漫長的。
ASML的EUV光刻機(jī),最開始是美國等幾大廠商一起研究,提出原理進(jìn)行驗(yàn)證,然后難證后,再交給ASML來制造。
從提出原理,到2006年ASML交付第一臺(tái)EUV原型光刻機(jī),實(shí)際經(jīng)過了10多年。但ASML的第一代光刻機(jī)Alpha EUV,都是用于測試。
而到2010年才推出第二代EUV光刻機(jī),型號(hào)是NXE:3100,還是用于測試。直到2013年ASML才真正推出了量產(chǎn)型號(hào)NEX:3300B。
可見,從原型機(jī)推出,到最后能規(guī)模量產(chǎn)的EUV光刻機(jī),ASML都搞了7年,足見從理論到實(shí)際,需要的時(shí)間有多久了。
所以,目前時(shí)不時(shí)冒出來的什么光刻機(jī)突破,什么EUV光線突破,有多么的不靠譜。就算是靠譜的突破,從理論到真正實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),可能也是10年甚至更久之后的事情去了。
所以,我覺得,大家別自嗨,謹(jǐn)慎看待目前網(wǎng)上流傳的各種五花八門的關(guān)于什么EUV光刻機(jī)突破的消息,靠不靠譜還兩說,就算靠譜,也是短時(shí)間之內(nèi)無法量產(chǎn),先別激動(dòng)。
當(dāng)然,我不是說這些突破就不需要了,畢竟任何產(chǎn)品都是從理論開始的,但這中間需要一個(gè)極長的過程,先別吹牛,慢慢把基礎(chǔ)打扎實(shí)了再說。
