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日本臺灣合作開發(fā)新型晶體管結(jié)構,助力2nm技術

2021-03-12 來源:中央社
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中國臺灣半導體研究中心(TSRI)與日本產(chǎn)業(yè)技術總合研究所(AIST)合作,開發(fā)新型晶體管結(jié)構。日本媒體指出,這有助制造2nm以下線寬、規(guī)劃應用在2024年后的新一代先進半導體。

中國臺灣半導體研究中心在去年12月下旬公布,于IEEE國際電子組件會議IEDM(International Electron Devices Meeting)在線會議中,與日本產(chǎn)業(yè)技術總合研究所共同開發(fā)低溫芯片鍵合技術;相關技術可將不同通道材料的基板,直接鍵合成一個基板,并應用在互補式晶體管組件上。

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這項技術可有效減少組件的面積,提供下世代半導體在多層鍵合與異質(zhì)整合的研究可行性參考。

日本經(jīng)濟新聞中文網(wǎng)今天報導,這項共同研究計劃從2018年啟動,日本和中國臺灣研究機構各自發(fā)揮優(yōu)勢;日本產(chǎn)業(yè)技術總合研究所利用先前累積的材料開發(fā)知識和堆棧異種材料的技術,中國臺灣半導體研究中心在異質(zhì)材料堆棧晶體管的設計和試制技術上提供協(xié)助。

相關技術是將硅(Si)和鍺(Ge)等不同信道材料從上下方堆棧、使「n型」和「p型」場效應晶體管(FET)靠近、名為CFET的結(jié)構。

報導指出,與之前晶體管相比,CFET結(jié)構的晶體管性能高、面積小,有助制造2nm以下線寬的新一代半導體;此次開發(fā)的新型晶體管,預計應用在2024年以后的先進半導體。

日本產(chǎn)業(yè)技術總合研究所表示,相關技術在世界上是首次,規(guī)劃未來3年內(nèi)向民間企業(yè)轉(zhuǎn)讓技術,實現(xiàn)商用化。

晶圓代工龍頭臺積電也積極布局先進半導體制程,董事長劉德音日前指出,臺積電3nm制程依計劃推進,甚至比預期還超前一些。臺積電原訂3nm今年試產(chǎn),預計2022年下半年量產(chǎn);臺積電規(guī)畫3nm采用鰭式場效晶體管(FinFET)架構,2nm之后轉(zhuǎn)向環(huán)繞閘極(GAA)架構。

臺積電日前也公告赴日本投資定案,將在日本投資設立100%持股子公司,實收資本額不超過186億日元,約1.86億美元,擴展三維芯片(3DIC)材料研究,預計今年完成。

中國臺灣半導體研究中心布局包含下世代組件、前瞻內(nèi)存、硅基量子計算次系統(tǒng)開發(fā)等半導體技術與IC應用技術服務平臺,提供從組件、電路到系統(tǒng)整合的一條龍服務,建立半導體制造、封裝測試、IC設計、硅智財、系統(tǒng)整合等開放性信息與服務平臺。