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1臺(tái)EUV光刻機(jī)1年耗電超1000萬度!2025年臺(tái)積電將消耗全臺(tái)12%電力

2022-08-29 來源:互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀
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關(guān)鍵詞: 光刻機(jī) 集成電路 TSMC

8月25日消息,據(jù)彭博社報(bào)導(dǎo),為制造制程更先進(jìn)、耗電更少的芯片,往往制造需要大量的電力。


光刻機(jī)巨頭ASML最先進(jìn)極紫外(EUV)光刻機(jī),每臺(tái)預(yù)估耗電1MW(megawatt,百萬瓦),約為前幾代設(shè)備的10 倍,加上制造先進(jìn)制程芯片還沒有其他替代設(shè)備,因此半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展,恐嚴(yán)重影響全球減碳進(jìn)度。


而EUV光刻機(jī)之所以耗電,主要是由于“EUV 的能源轉(zhuǎn)換效率(wall plug efficiency)只有 0.02% 左右。


而造成轉(zhuǎn)換率低的一大原因是,極紫外光本身的損耗過大。



極紫外光物理特性與一般常見的紫外光差異極大。這種光非常容易被吸收,連空氣都不透光,所以整個(gè)生產(chǎn)環(huán)境必須抽成真空;同時(shí),也無法以玻璃透鏡折射,必須以硅與鉬制成的特殊鍍膜反射鏡,來修正光的前進(jìn)方向,而且每一次反射仍會(huì)損失 3 成能量,但一臺(tái) EUV 機(jī)臺(tái)得經(jīng)過十幾面反射鏡,將光從光源一路導(dǎo)到晶圓,最后大概只能剩下不到 2% 的光線?!边@也是 EUV 機(jī)臺(tái)如此耗電的主因之一。


如果按照前面的EUV能源轉(zhuǎn)換效率只有0.02% 來計(jì)算,目前先進(jìn)的能輸出 250 瓦功率的 EUV的機(jī)臺(tái),需要輸入0.125萬千瓦的電力才能達(dá)到,這個(gè)耗電量是傳統(tǒng)氬氟雷射的 10 倍以上。換句話來說,就是一臺(tái)輸出功率250W的EUV光刻機(jī)工作一天,將會(huì)消耗3萬千瓦時(shí),也就是說,一年的耗電量就超過1000萬千瓦時(shí)。        



報(bào)道稱,臺(tái)積電目前擁有80 臺(tái)EUV 設(shè)備,且正在安裝新一代的EUV設(shè)備。照此估算,臺(tái)積電一年,僅這80臺(tái)EUV光刻機(jī)的耗電量將高達(dá)8億千瓦時(shí)。而這也僅僅只是臺(tái)積電晶圓制造的上百個(gè)環(huán)節(jié)當(dāng)中最為耗電的一個(gè)部分。


根據(jù)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),臺(tái)積電2020年的耗電量達(dá)到了160億千瓦時(shí),占據(jù)整個(gè)臺(tái)灣5.9%的用電總量。2021年臺(tái)積電實(shí)際用電量已接近170億度。另外,由于近兩年的缺芯推動(dòng)了臺(tái)灣島內(nèi)晶圓廠的建設(shè)開始加碼。資料顯示,今明兩年,臺(tái)積電將在臺(tái)灣島內(nèi)興建11座晶圓廠,其中大部分為生產(chǎn)3nm及2nm先進(jìn)制程的晶圓廠。由于這些尖端制程晶圓廠必須用到EUV光刻機(jī),因?yàn)楹碾娏繉?huì)進(jìn)一步大幅增長。


彭博社稱,照這樣運(yùn)作,預(yù)計(jì)2025 年,臺(tái)積電的耗電量將將占全臺(tái)灣整體能源消耗的12.5%,較2020年的近6%還要高出1倍。除了臺(tái)積電,美光臺(tái)中廠也使用至少一種EUV 設(shè)備。



彭博分析師Charles Shum 預(yù)估,3 年內(nèi)臺(tái)灣的晶圓代工廠四分之一芯片制造都需要用到EUV 設(shè)備。


臺(tái)灣中央大學(xué)管理講座教授梁啟源也認(rèn)為,除非晶圓廠開始自己蓋發(fā)電廠,否則臺(tái)灣沒有足夠電力滿足產(chǎn)業(yè)需求。


綠色和平組織的氣候和能源活動(dòng)家Tracy Cheng 指出,半導(dǎo)體廠對臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)至關(guān)重要,其他地區(qū)恐會(huì)更強(qiáng)烈感受到電力短缺影響,且缺電肯定會(huì)發(fā)生,“臺(tái)積電占用全臺(tái)灣大部分能源供應(yīng),損害其他產(chǎn)業(yè)?!?/span>


臺(tái)積電生產(chǎn)對環(huán)境的影響程度,主要取決于發(fā)電來源。研究業(yè)者Imec 永續(xù)發(fā)展專案主管Lars-Ake Ragnarsson 指出,臺(tái)灣有許多需要運(yùn)行如此高耗能設(shè)備的晶圓廠,使可再生能源更重要緊迫,但臺(tái)灣卻嚴(yán)重依賴化石燃料。


臺(tái)灣政府2016 年制定目標(biāo),到了2025 年,20%電力來自可再生能源。然而7 月最新能源審查顯示,截至2021 年底,只有6% 電力是可再生能源,促使當(dāng)局下調(diào)2025 年目標(biāo)至15%。


整體來說,雖然有機(jī)會(huì)找到更環(huán)保的方式制造芯片,但沒有任何廠商愿意放慢腳步。Ragnarsson 認(rèn)為,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展過于迅速,也有很多問題需解決,但這需要時(shí)間和成本,如果什么都不做,問題只會(huì)更糟。